德國HNP Mikrosysteme公(gōng)司推出(chū)的mzr-2965磁力密封微量(liáng)泵，屬於(yú)微(wēi)環(huán)形齒(chǐ)輪(lún)泵係(xì)列，是一(yī)款(kuǎn)專為精密微(wēi)量輸(shū)送而設計的緊湊型全(quán)封(fēng)閉(bì)泵(bèng)。該泵直徑僅22 mm，長度69 mm，重量約120 g，是尺(chǐ)寸小的工(gōng)業級(jí)磁力(lì)密封微量泵之一。
HNPM mzr-2965磁力(lì)密(mì)封(fēng)微量泵
mzr-2965微量泵的(dí)流量範(fàn)圍為0.03至18 ml/min，最小(xiǎo)計量(liáng)容(róng)積可達(dá)10 μl，排量(liáng)容(róng)積為(wéi)3 μl。最(zuì)大係(xì)統(tǒng)壓力為(wéi)6 bar（含入(rù)口(kǒu)壓(yā)力(lì)與輸出壓差之和），輸出壓差(chà)範(fàn)圍(wéi)為0至(zhì)3 bar。驅動電機(jī)采用24V直流無刷(shuā)電(diàn)機，功率(shuài)6.4 W，集成(chéng)運動(dòng)控製器(qì)支(zhī)持(chí)速(sù)度(dù)與位(wèi)置控製(zhì)。該泵適用(yòng)於(yú)-15至(zhì)+60℃的(dí)液體(tǐ)溫度範(fàn)圍和0.3至500 mPa·s的(dí)粘(nián)度(dù)範(fàn)圍(wéi)。泵體(tǐ)接液(yè)部件采(cǎi)用(yòng)不(bù)鏽鋼(gāng)316L，碳化鎢(wū)，陶(táo)瓷(cí)等耐磨超(chāo)硬材料。
1.全(quán)封閉無軸封(fēng)設計
mzr-2965微量(liáng)泵最核心(xīn)的(dí)特性在(zài)於其磁耦(ǒu)合(hé)全封閉設(shè)計——泵(bèng)體沒有傳(chuán)統(tǒng)的(dí)動(dòng)態機(jī)械(xiè)軸封。驅(qū)動(dòng)力通過環(huán)繞磁(cí)力(lì)驅動(dòng)裝置(zhì)的(dí)液體分離杯(bēi)，由旋轉(zhuǎn)磁(cí)場從外(wài)部(bù)傳遞給內(nèi)部轉(zhuǎn)子(zǐ)。整個轉子封閉在(zài)泵(bèng)腔內部，沒有貫(guàn)穿泵壁的(dí)旋(xuán)轉軸(zhóu)，從物理結構上(shàng)消(xiāo)除了(liǎo)軸封(fēng)泄(xiè)漏點(diǎn)。
這一(yī)設(shè)計(jì)使(shǐ)mzr-2965特(tè)別適用(yòng)於處理(lǐ)結晶性，對氧(yǎng)氣或濕(shī)氣敏感的(dí)液體(tǐ)。在(zài)封閉(bì)的(dí)液(yè)冷回路中，它既能防止工(gōng)質向(xiàng)外(wài)泄漏，也(yě)能(néng)阻(zǔ)斷外界(jiè)空氣和濕(shī)氣反向侵入(rù)係統(tǒng)。
2. 微環(huán)形(xíng)齒輪(lún)技(jì)術帶來低脈(mài)動(dòng)輸出
mzr-2965采用(yòng)微環形齒(chǐ)輪(lún)泵原理(lǐ)，內(nèi)齒(chǐ)外(wài)轉(zhuǎn)子與(yǔ)外(wài)齒內轉子(zǐ)在精密齧合過(guò)程(chéng)中形(xíng)成(chéng)封(fēng)閉腔體(tǐ)，容積呈綫(xiàn)性(xìng)變化(huà)。這一(yī)結構決定了其流量輸出(chū)具有(yǒu)天然(rán)的(dí)連(lián)續性，脈動(dòng)極低。不同(tóng)於蠕(rú)動泵(bèng)的(dí)間歇擠(jǐ)壓(yā)或(huò)活塞(sāi)泵的吸(xī)排(pái)轉換，微(wēi)環形齒(chǐ)輪泵(bèng)的排量曲綫(xiàn)近(jìn)乎(hū)平直(zhí)，能(néng)夠(gòu)在(zài)整個流(liú)量範(fàn)圍內保(bǎo)持高精度的(dí)穩(wěn)定輸送。
3. 集成(chéng)運(yùn)動控製器與(yǔ)靈活(huó)控(kòng)製
mzr-2965集(jí)成了(liǎo)可編程運(yùn)動控製(zhì)器，支持速(sù)度控製(zhì)和位置控製。控製(zhì)接口(kǒu)包括0-10V模(mó)擬量輸(shū)入，24V數(shù)字輸(shū)入，RS-232串口(kǒu)及(jí)CANopen。用戶(hù)可根(gēn)據實際需求，通過外部信號(hào)實時調(tiáo)節泵的轉(zhuǎn)速(sù)和(hé)流量(liáng)，實現(xiàn)動態按需(xū)供液。
4. 緊湊(còu)結構(gòu)與長壽命(mìng)
得益於(yú)全新的產(chǎn)品(pǐn)設(shè)計(jì)以(yǐ)及與集成(chéng)運動(dòng)控製器的(dí)優化(huà)匹(pǐ)配(pèi)，mzr-2965在如此(cǐ)小(xiǎo)的體(tǐ)積內(nèi)實現了完(wán)整的(dí)磁力(lì)密(mì)封(fēng)泵(bèng)送(sòng)功能(néng)。泵體(tǐ)采用耐磨(mó)超(chāo)硬材料，在正(zhèng)常工(gōng)況下(xià)具(jù)有長使用(yòng)壽(shòu)命(mìng)和低(dī)能耗(hào)的(dí)特性(xìng)，且磁力耦合(hé)設(shè)計(jì)使泵基(jī)本(běn)免維護。
mzr-2965與(yǔ)AI芯(xīn)片氟(fú)化(huà)液(yè)直(zhí)冷(lěng)應用的高(gāo)度(dù)適(shì)配
AI芯片液(yè)冷(lěng)散熱采用R1233zd等(děng)低(dī)沸點氟(fú)化液(yè)作為(wéi)冷卻工質(zhì)，要(yào)求(qiú)泵在(zài)600 μl/min（0.6 ml/min）的超(chāo)低流量下(xià)連續(xù)穩定運(yùn)行(háng)。這(zhè)一(yī)應用(yòng)場景對(duì)輸送設備提出了密封性(xìng)，流動品(pǐn)質，抗壓能力(lì)和控製精(jīng)度的(dí)多(duō)重(zhòng)嚴(yán)苛(kē)要求——而mzr-2965的設計(jì)特性恰恰與這(zhè)些要(yào)求高(gāo)度(dù)吻合(hé)。
密封(fēng)性(xìng)：全(quán)封(fēng)閉(bì)設計杜絕(jué)R1233zd泄漏
R1233zd常壓沸點(diǎn)僅(jǐn)18℃，常溫(wēn)下即(jí)呈現強烈汽(qì)化(huà)傾向(xiàng)。傳統帶(dài)軸(zhóu)封的(dí)泵難以杜(dù)絕製冷劑蒸汽的(dí)微(wēi)量(liáng)滲(shèn)漏。mzr-2965的(dí)全封(fēng)閉無軸封設(shè)計(jì)從(cóng)物(wù)理(lǐ)結構上(shàng)消除(chú)了這一隱患(huàn)——沒(méi)有(yǒu)旋轉(zhuǎn)軸伸出(chū)泵體，就(jiù)沒有(yǒu)軸封(fēng)泄(xiè)漏點(diǎn)。同時，外界濕氣也無法(fǎ)通(tōng)過軸(zhóu)封間隙(xì)反向侵入閉(bì)環(huán)係統(tǒng)，避免(miǎn)了水分(fēn)子與氟化液接觸(chù)可(kě)能引發的工質(zhì)劣化(huà)。
低(dī)脈動：保障(zhàng)微通道液(yè)膜(mó)穩(wěn)定
在600 μl/min的超(chāo)低流量下(xià)，任(rèn)何壓力波(bō)動(dòng)都(dū)會被放大。蠕(rú)動泵或(huò)活塞泵的間歇式(shì)排(pái)液(yè)會產(chǎn)生(shēng)顯(xiǎn)著脈(mài)動，足以將(jiāng)冷板(bǎn)微(wēi)通道(dào)內(nèi)的冷(lěng)卻液膜震得支離破(pò)碎，導致換熱(rè)效(xiào)率驟降。mzr-2965的微(wēi)環形(xíng)齒(chǐ)輪技術(shù)提供高精(jīng)度，低(dī)脈動(dòng)的連續(xù)液流，確(què)保(bǎo)冷(lěng)卻液膜始(shǐ)終穩(wěn)定貼附於(yú)換(huàn)熱表(biǎo)麵(miàn)。
bar壓(yā)差：從容(róng)應(yīng)對兩相(xiāng)流(liú)衝擊(jī)
當(dāng)R1233zd在冷板(bǎn)內(nèi)發生(shēng)局(jú)部沸騰時，汽(qì)化膨脹(zhàng)會產(chǎn)生瞬(shùn)時背壓衝擊。mzr-2965具(jù)備(bèi)0-3 bar的(dí)輸(shū)出壓差(chà)能力(lì)，遠(yuǎn)超該類回路常(cháng)見的(dí)壓力波動幅值，即使突(tū)發膨脹也能(néng)維(wéi)持連續(xù)輸(shū)送。
微升級精(jīng)密(mì)調節：實(shí)現按需供液(yè)
mzr-2965的最小計量容積(jī)僅10 μl，流(liú)量可(kě)在0.03-18 ml/min範圍內精(jīng)確(què)調節(jié)。集(jí)成(chéng)運動控(kòng)製器支持(chí)根據(jù)CPU/GPU實(shí)時(shí)負載信(xìn)號動態調整流(liú)量，實現按需供(gōng)液，能效優化。
總(zǒng)結
mzr-2965以其全封閉無(wú)軸封設(shè)計(jì)，微(wēi)環形(xíng)齒輪(lún)低(dī)脈動技術(shù)，3 bar壓(yā)差(chà)輸(shū)出(chū)能(néng)力(lì)以及(jí)微升(shēng)級精(jīng)密(mì)調節(jié)四(sì)大核心(xīn)特性，與(yǔ)AI芯片R1233zd氟化(huà)液直(zhí)冷場(cháng)景中(zhōng)的密(mì)封，穩流(liú)，抗壓(yā)，精調四(sì)重(zhòng)需求形(xíng)成了精準對應(yīng)。對(duì)於正在為AI液冷係統尋(xún)找(zhǎo)超低流(liú)量氟化(huà)液輸(shū)送(sòng)方案的(dí)工(gōng)程(chéng)師而言，mzr-2965提(tí)供(gōng)了一個(gè)在產品(pǐn)設計層麵(miàn)即已為(wéi)這(zhè)一工況做好準備(bèi)的工程化選(xuǎn)項。
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