四(sì)甲(jiǎ)基(jī)氫氧(yǎng)化(huà)銨(TMAH)溶(róng)液，在晶片生產(chǎn)中(zhōng)用(yòng)作CMP(化學(xué)機械(xiè)拋光(guāng))預清(qīng)洗劑，或(huò)在(zài)半導體領域的光(guāng)刻工(gōng)藝中作(zuò)為顯(xiǎn)影(yǐng)劑。為(wéi)了(liǎo)*潤濕晶(jīng)片表(biǎo)麵，通(tōng)常(cháng)會(huì)在TMAH溶液中(zhōng)加(jiā)入表麵(miàn)活性(xìng)劑以(yǐ)降(jiàng)低(dī)其表(biǎo)麵(miàn)張力(lì)。確保一個(gè)穩定(dìng)且(qiě)不(bù)與表(biǎo)麵幾(jī)何(hé)形(xíng)狀相關(guān)的蝕(shí)刻(kè)過(guò)程。

動(dòng)態表麵張(zhāng)力(隨時(shí)間(jiān)變化的潤濕行為)對(duì)塗(tú)層的均(jūn)匀性和(hé)一致性有著非常(cháng)重要的影響(xiǎng)，靜(jìng)態測量法如吊片和拉(lā)環的方(fāng)法並不適用(yòng)於(yú)這(zhè)類問題的(dí)分析，因(yīn)為(wéi)他(tā)們測量(liáng)的是靜態表麵(miàn)張力(lì)而非動態表麵(miàn)張力。此外(wài)，使(shǐ)用(yòng)靜(jìng)態法(fǎ)測(cè)量後，必(bì)須(xū)對(duì)測(cè)試設(shè)備進(jìn)行非(fēi)常復雜的清洗(xǐ)，這會(huì)耗費(fèi)大(dà)量的時(shí)間。德國SITA公(gōng)司根(gēn)據不(bù)同的應(yīng)用領域(yù)，提(tí)供(gōng)不同的解決方案(àn)以(yǐ)檢測槽(cáo)液配(pèi)方的表麵(miàn)張(zhāng)力(lì)。基(jī)於(yú)創新(xīn)的(dí)氣泡壓力(lì)法(fǎ)，SITA表(biǎo)麵張力儀(yí)可(kě)以(yǐ)，快速的測量動態(tài)表麵張力，從(cóng)動態到準靜態的表(biǎo)麵張力 。

SITA DynoTester是(shì)一個非常靈活(huó)，輕便的(dí)手(shǒu)持(chí)式表(biǎo)麵(miàn)張力測(cè)試儀(yí)，非(fēi)常適用(yòng)於工藝過(guò)程中質量的監(jiān)控，可進行(háng)現(xiàn)場測量(liáng)，測試時(shí)間短(duǎn)，測試(shì)結果能(néng)立即(jí)與(yǔ)所需值(zhí)作對比(bǐ)。因此(cǐ)，SITA DynoTester 可對TMAH溶液(yè)的潤濕(shī)性(xìng)能(néng)進行簡便快(kuài)捷的分(fēn)析。操(cāo)作(zuò)簡(jiǎn)單(dān)，無需任(rèn)何專業經驗，儀(yí)器的所(suǒ)有功能(néng)都(dū)可通(tōng)過儀器上的按鍵(jiàn)實(shí)現(xiàn)。

對於高要求(qiú)的TMAH溶(róng)液，以及需(xū)對檢(jiǎn)測(cè)結(jié)果進行(háng)連(lián)續監(jiān)控的情(qíng)況(kuàng)，SITA 公司推(tuī)薦(jiàn)使(shǐ)用(yòng)過(guò)程監控係統(tǒng)--SITA Clean Line ST。這一係統直接(jiē)集(jí)成在工(gōng)藝(yì)過程中(zhōng)，定(dìng)期測(cè)量(liáng)表麵張(zhāng)力，並在設(shè)定的(dí)範(fàn)圍內(nèi)自動比(bǐ)較數據，因(yīn)此我(wǒ)們(mén)可(kě)在表(biǎo)

麵活性劑濃度(dù)超出(chū)限定(dìng)值後，在短(duǎn)時間內(nèi)采(cǎi)取相關(guān)處理措施。設備(bèi)至少可以儲存(cún)一(yī)整(zhěng)年的測(cè)試(shì)數據(jù)，如果需要(yào)進(jìn)行(háng)長期數(shù)據存儲(chǔ)，則可以通過(guò)USB 端(duān)口將數據傳(chuán)輸到計(jì)算(suàn)機(jī)。 SITA的表(biǎo)麵張(zhāng)力儀可以(yǐ)可靠(kào)的(dí)監控槽(cáo)液的質量(liáng)，為(wéi)研(yán)發和清(qīng)洗工藝過程(chéng)建(jiàn)立良好的基礎進而獲得高質(zhì)量結果。此外，表(biǎo)麵張(zhāng)力(lì)檢測還能(néng)避免過(guò)量使用表麵(miàn)活(huó)性(xìng)劑(jì)，從而降(jiàng)低生產成本。

相(xiāng)關儀器

SITA Dynotester 表(biǎo)麵張力儀